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洁净搬运Robot返回列表

TFT-LCD Glass/Panel基板搬送Robot, 16类

从G4.5 to G10.5, 超过2000台的实绩


产品特点:

模块化设计;

标准化接口;

轻量化设计;

高洁净度密封设计;

→ 高速、平稳、洁净搬运。

→多枚基板同时处理,节省Tact Time。

核心技术:

大型基板搬运振动抑制;

高洁净度密封、净化设计;

基于位置反馈的变加速控制;

故障诊断与预测;

高精度精密加工、组装工艺与检测。


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